LAM RESEARCH 15-357732-02

Description

关于Lam Research（泛林半导体）与Novellus联合设计的Shower Head（喷淋头），型号P/N: 15-357732-02 Rev B的具体技术参数，由于涉及企业产品技术细节，通常需要通过以下途径获取准确信息：

1. 官方技术文档

• 产品手册：Lam Research或Novellus官方网站可能提供该型号喷淋头的详细技术规格，包括材料、尺寸、流量、压力范围、温度耐受性等参数。
• 数据表（Datasheet）：制造商通常会为关键部件提供数据表，列出电气、机械和热性能等具体参数。

2. 技术参数示例（基于行业常规）

• 材料：喷淋头通常采用高纯度石英（SiO₂）、陶瓷（如Al₂O₃）或金属（如铝、不锈钢）制成，具体取决于工艺需求。
• 尺寸：直径可能为200mm、300mm等，具体尺寸需根据工艺腔体匹配。
• 流量：气体流量范围可能为几百至几千标准立方厘米每分钟（sccm），具体取决于工艺气体类型和压力。
• 压力范围：通常设计为可承受0.1 Torr至100 Torr的压力范围，具体取决于工艺需求。
• 温度范围：耐受温度可能高达200°C至400°C，具体取决于材料和工艺条件。
• 表面处理：可能经过特殊涂层处理，以减少颗粒污染或提高耐腐蚀性。

3. 获取技术参数的建议

• 联系制造商：直接联系Lam Research或Novellus的客户支持团队，提供产品型号和版本信息，获取详细的技术参数。
• 技术咨询：通过行业展会、技术论坛或专业代理商咨询相关技术细节。
• 合规性确认：确保获取的技术参数符合行业标准和法规要求，特别是半导体制造领域的洁净度和安全性标准。

4. 注意事项

• 版本差异：Rev B版本可能包含设计改进或材料变更，需确认具体更新内容。
• 工艺兼容性：喷淋头的参数需与特定工艺（如化学气相沉积、物理气相沉积等）匹配，需结合工艺需求选择。
• 安全性：半导体设备涉及高压、高温和腐蚀性气体，需严格遵守安全操作规程。