Lam Research 15-271836-00 机器人末端执行器

Description

关于Lam Research型号为15-271836-00的ATM机器人末端执行器（End Effector）的具体技术参数，目前没有公开的详细技术文档直接列出该型号的完整参数。

不过，基于Lam Research在半导体设备自动化领域的行业地位及技术积累，可推测该末端执行器可能具备以下特性：

一、可能的通用技术特性

1. 高精度定位
   • 末端执行器通常配备高精度传感器（如激光测距仪、视觉系统），确保晶圆传输的定位精度达到±0.01mm量级。
   • 重复定位精度（RPP）可能优于±0.005mm，满足先进制程对晶圆对准的严苛要求。
2. 真空吸附与防静电设计
   • 采用多级真空吸附系统，确保晶圆在传输过程中稳定吸附，吸附力可调范围通常为0-1000mbar。
   • 表面材料可能经过防静电处理（如ESD涂层），电阻率控制在10⁶-10⁹Ω范围内，避免晶圆因静电放电受损。
3. 材料兼容性
   • 接触面可能采用PFA、PVDF等低颗粒释放材料，减少对晶圆的污染风险。
   • 结构设计需兼容300mm及以下尺寸晶圆，并适配不同厚度（如28-1200μm）的晶圆。
4. 自动化接口
   • 支持SECS/GEM协议，可与主机系统实时通信，传输状态数据（如吸附状态、位置信息）。
   • 可能集成RFID或二维码识别功能，用于晶圆批次追溯。

二、应用场景适配性

• ATM机器人系统：该末端执行器专为自动化物料搬运（Automated Material Handling, ATM）设计，需与Lam Research的晶圆传输机器人（如Encore系列）无缝集成。
• 晶圆厂环境：需满足Class 1洁净室要求，颗粒释放率（Particles Per Action, PPA）通常低于0.1个/动作。

三、获取准确参数的途径

由于具体技术参数可能因客户定制需求而异，建议通过以下途径获取：

1. 官方技术支持：联系Lam Research全球技术支持团队，提供设备序列号或应用场景，获取定制化参数文档。
2. 用户手册：参考设备随机附带的操作手册（如《15-271836-00 End Effector User Guide》），通常包含安装、校准及维护指南。
3. 合规认证：查阅设备通过的半导体行业标准认证（如SEMI S2/S8），其中可能包含部分性能参数。

四、注意事项

• 定制化需求：Lam Research的末端执行器常根据客户工艺需求定制（如特殊晶圆尺寸、传输速度），需确认具体配置。
• 维护要求：需定期校准真空吸附系统及传感器，建议参考Lam Research提供的预防性维护计划（PM Schedule）。

如需进一步技术细节，建议直接联系Lam Research官方技术支持团队，提供设备具体应用场景以获取定制化方案。